午夜视频在线观看免费观看 I 91国内精品视频 I 性色综合 I 91正在播放 I 国产精品成人99一区无码 I 久无码久无码av无码 I 成人亚洲精品 I 伊人称影院 I 色综合天天综合网天天狠天天 I 色偷拍av I 美女色诱网站 I 一线二线三线天堂 I 男女插孔视频 I 久草黑丝 I 波多野结衣视频免费 I 久久成年网 I 我要看免费黄色片 I 大香伊蕉国产av I 开心激情深爱 I 无码精品人妻一区二区三区湄公河 I www.中文字幕在线观看 I 中文字幕在线色 I 黄色一级视频 I a免费网站 I 亚洲国产另类久久久精品黑人 I 美女福利在线 I 天堂网在线视频 I 九九热播视频
首頁
關于我們
關于我們
企業簡介
企業文化
榮譽資質
產品中心
新聞資訊
技術文章
視頻中心
在線留言
聯系我們
15640436639
Technical Articles
技術文章
新聞資訊
技術文章
視頻中心
當前位置：
首頁
>
技術文章
>
直流磁控濺射儀在科學研究和工業應用中發揮著重要的作用
直流磁控濺射儀在科學研究和工業應用中發揮著重要的作用
更新時間：2025-05-30 點擊次數：1086
直流磁控濺射儀是一種基于磁場與直流電場協同作用實現金屬薄膜快速沉積的表面鍍膜設備,直流磁控濺射儀主要用于在真空室內通過直流電源施加電壓，使氬氣電離,產生的氬離子轟擊靶材 ，使靶材表面的原子或分子沉積在基片上形成薄膜。
直流濺射磁控儀的優點包括基片升溫低、沉積速率快、膜層損傷小等。只要能把材料制成靶材，都可以使用直流濺射磁控儀進行濺射鍍膜。同時，濺射所制備的薄膜在膜基結合力、致密性、純度和成膜均勻性等方面都有良好的表現。此外，它的制備工藝具有很好的重復性和厚度均勻性，適用于大面積制備薄膜，且涂層的厚度可以通過膜厚儀進行準確控制。相較于傳統濺射，效率明顯提升。磁場約束電子運動軌跡，延長其路徑，增加電離幾率，形成高密度等離子體，提升沉積效率。冷濺射技術適用于溫度敏感樣品。電子在磁場約束下，大部分能量被消耗在與氬原子的碰撞和電離過程中，減少了電子直接轟擊基片的能量，從而有效降低基片溫度。
直流磁控濺射儀的工作原理如下：
真空室內的氣體電離：在真空室內充入適量的氬氣，通過直流電源在陰極(靶材)和陽極(鍍膜室壁)之間施加電壓，使氬氣電離產生氬離子(Ar+)和電子。
轟擊靶材：氬離子在電場作用下轟擊靶材表面，使靶材表面的原子或分子被濺射出來。
沉積薄膜：濺射出的原子或分子沉積在基片上，形成所需的薄膜。
二次電子的約束：產生的二次電子在電場和磁場的共同作用下，做螺旋運動，延長了在等離子體中的停留時間，進一步電離出大量的氬離子，提高沉積速率。
上一篇：
冷等靜壓機是一種用于材料成型的設備
下一篇：
蒸發鍍膜儀是制備集成電路的關鍵設備之一
產品中心
UNIPOL-1220M型全自動金相磨拋系統
HXQ-25-6 六工位自動熱鑲嵌機
UNIPOL-1502AT自動精密研磨拋光機
新聞中心
新聞資訊
應用案例
技術文章
關于我們
公司簡介
視頻中心
榮譽資質
聯系方式
在線留言
聯系我們
歡迎您的咨詢
我們將竭盡全力為您用心服務
2885379450
關注公眾號
版權所有 © 2025 沈陽科晶自動化設備有限公司
備案號：遼ICP備07009795號-2
技術支持：
化工儀器網
管理登陸
sitemap.xml
TEL：
關注公眾號
關注公眾號